真空防腐型勻膠機性能優點：

1.真空防腐型勻膠機主機機箱采用PP外殼材料，耐腐蝕易清潔

2.內腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料（HDPE）

3.采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

4.排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。

5.透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

馬達旋涂轉速穩定性能誤差 ：<±1rpm

轉速調節精度及重復性：1rpm

CY-S-V真空防腐型勻膠機帶真空數字顯示功能

工藝時間設定：0-3,000sec/step，時間設置精度：0.1sec

支持晶圓尺寸：碎片至200mm（8”圓晶）

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